過去的一年，仇旻不斷收獲好消息。去年4月16日，他被聘為西湖大學(xué)副校長;而后，前段時間，他的團(tuán)隊(duì)在《納米快報(Nano Letters)》雜志上發(fā)表了用冰刻技術(shù)進(jìn)行微納加工的技術(shù)論文。
從浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任到西湖大學(xué)副校長，身份的轉(zhuǎn)變并沒有讓他放下科研工作。在繁忙的管理工作之外，他總會抽空聯(lián)系研究團(tuán)隊(duì)。團(tuán)隊(duì)成員說，“實(shí)驗(yàn)進(jìn)度”是他每次都會問起的事。
“我們用了6年時間研發(fā)這項(xiàng)冰刻技術(shù)，但只是開了個頭，未來還有很多問題等著我們?nèi)ソ獯稹?rdquo;仇旻說。
曾是浙江大學(xué)最年輕的博士之一
16歲考入浙江大學(xué)物理系，23歲獲得該校凝聚態(tài)物理博士學(xué)位，隨即成為浙江大學(xué)當(dāng)時最年輕的博士之一……
每每翻開仇旻的履歷，很多人都驚呼其是“天才”。面對科技日報記者，他說：“很多人都覺得我是少年班的，其實(shí)我只是讀書早而已。五歲讀小學(xué)，加上當(dāng)時小學(xué)只讀五年，所以較早進(jìn)入大學(xué)，并不是所謂的天才。”
年少成才的仇旻，不僅學(xué)識出眾，在心智方面也比同齡人成熟，很早就確立了當(dāng)科學(xué)家的志向。“我當(dāng)時想，要當(dāng)科學(xué)家就得學(xué)數(shù)理化這類課程，所以我考大學(xué)時就選擇了物理專業(yè)。”仇旻說。
在取得浙江大學(xué)凝聚態(tài)物理博士學(xué)位后，24歲的仇旻遠(yuǎn)赴瑞典皇家工學(xué)院繼續(xù)深造，同年被聘為該校微電子及應(yīng)用物理系助理教授。
同時受過中國和瑞典的高等教育，仇旻對自主獨(dú)立的教育模式比較推崇。這種理念其實(shí)早在他中學(xué)時代就已經(jīng)建立。仇旻認(rèn)為，國內(nèi)的基礎(chǔ)教育對學(xué)生限制比較多，而國外的基礎(chǔ)教育更鼓勵學(xué)生獨(dú)立思考。
在瑞典，仇旻帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)取得了一系列與微納光子學(xué)有關(guān)的科研成果，比如設(shè)計(jì)了世界上最小的光子晶體諧振腔。期間，他還參與創(chuàng)建了一家光通信企業(yè)，將科研成果轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。
最遺憾成果非完全自主研發(fā)
2010年，35歲的仇旻離開瑞典，回國走上了浙江大學(xué)的講臺，在母校繼續(xù)他的微納光子征程。這次，仇旻要帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)突破三維結(jié)構(gòu)的微納加工技術(shù)。
目前，電子束曝光(EBL)是微納加工中的關(guān)鍵工藝之一，它也被簡稱為“電子束光刻”。完成這項(xiàng)工藝，需要一種名為光刻膠的聚合物。這種材料經(jīng)過電子束掃描后，性質(zhì)會發(fā)生改變，再經(jīng)過化學(xué)試劑清洗，光刻膠便能“顯影”出特定圖案，為下一步微納加工“畫”出模板。
但是光刻膠很難被清洗掉，如有殘留會影響器件性能;用化學(xué)試劑對其進(jìn)行清洗，還可能會破壞器件本身。這無疑給三維結(jié)構(gòu)的微納加工增加了難度。
在零下130攝氏度的真空中，水蒸氣有可能凝華成一層超級光滑的薄冰。仇旻團(tuán)隊(duì)和丹麥科學(xué)家合作，利用這種特殊的冰代替?zhèn)鹘y(tǒng)電子束曝光中的光刻膠，嘗試基于“冰膠”的三維微納加工。經(jīng)過6年的埋頭研發(fā)，仇旻團(tuán)隊(duì)通過對掃描電鏡的改造，最終研發(fā)出一臺全新的集制冷組件、注水組件、支撐組件、測溫組件于一身的冰刻微納加工儀器。
借助這臺儀器，仇旻團(tuán)隊(duì)成功制造出金字塔、蘑菇、橋等三維造型，并使作品的分辨率達(dá)20納米，定位精度達(dá)到100納米以下。
這一冰刻技術(shù)具有免勻膠、易剝離的特性，無須再使用化學(xué)試劑進(jìn)行清洗。同時，冰刻技術(shù)的三維加工能力可被拓展到非平面襯底或易損柔性材料，為基于量子點(diǎn)、納米管、石墨烯、光纖等材料的新型光電子器件提供更多研制可能。
不過，最令仇旻感到遺憾的是，這套系統(tǒng)并非完全自主研發(fā)，而是基于德國儀器進(jìn)行改裝的。“我們深切地感受到，最尖端的科研設(shè)備還是掌握在別人手上：電子束曝光設(shè)備是德國的，光刻技術(shù)掌握在荷蘭人手中，中國的微納加工設(shè)備研制還有很長的路要走。”雖然看到差距，但仇旻并不悲觀，因?yàn)樗吹搅藝鴥?nèi)對科研的重視，以及科研環(huán)境和氛圍的不斷改變。
仇旻相信，幾年后一定會有一批科研工作者，在生命科學(xué)、智能技術(shù)、納米能源、資源環(huán)境等領(lǐng)域取得令人矚目的成績。“未來十年，取得突破的領(lǐng)域還將會更多，我們絕對有信心。”仇旻說。(科技日報記者 江耘 實(shí)習(xí)生 洪恒飛)
